四丙基氫氧化銨 (TPAH) 提供 CMP 後清洗所需的精度和準確性。它被認為是合成試劑。隨著設備尺寸按比例縮小,CMP 後清洗需要更精密和精確的產品。 TPAH 增強了這些清潔溶液的性能。
白皮書:強有機堿的綜合效用下載白皮書
應用:
可選產品
四丙基氫氧化銨,含水 40%
TPAH,含水 40%
CAS# 4499-86-9
[sachem_product:350]
別名:
- 1-propanaminium, N,N,N-tripropyl-, hydroxide (1:1)
- N,N,N-Tripropylpropan-1-aminium hydroxide
- tetra-n-propylammonium hydroxide
- Tetrapropyl ammonium hydroxide