SACHEM 的乙基三甲基碘化銨 (ETMAH) 是一種具有多種用途的高純度季銨化合物。我們的客戶發現 ETMAH 可用於積體電路製造市場的選擇性蝕刻應用的配方成分。
應用
開發 SACHEM’s Envure System™ 系列產品以迎接面向積體電路 (IC) 市場的持續挑戰。ETMAH 是 Envure SE™ 產品,是多晶硅蝕刻應用中眾多關鍵配方的基礎,是替代四甲基氫氧化銨的理想選擇。
為何乙基三甲基碘化銨 (ETMAH) 對每種應用都有幫助:
• 類似 TMAH 的性能:皮膚暴漏方面是更高標準的 LD50
• 靈活調節溫度,專用於 IC and PV 應用
• 良好的有機溶解性和增強的性能
• 低金屬離子和鹵化物水準更靈活的在總體“污染預算”應用中加入低純度成份。
其他應用:
• 能源材料
• 聚合物市場
• 農藥市場
• 醫藥市場
• 沸石市場
可選產品
乙基三甲基碘化銨,含水 20% 超純
ETMAH,含水 20%
CAS# 30382-83-3
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