四丙基氢氧化铵 (TPAH) 提供 CMP 后清洗所需的精度和准确性。它被认为是合成试剂。
随着设备尺寸按比例缩小,CMP 后清洗需要更精密和精确的产品。 TPAH 增强了这些清洁溶液的性能。
白皮书:强有机碱的综合效用
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应用:
可选产品
四丙基氢氧化铵,含水 40%
TPAH 含水 40%
CAS# 4499-86-9
[sachem_product:350]
别名:
- 1-propanaminium, N,N,N-tripropyl-, hydroxide (1:1)
- N,N,N-Tripropylpropan-1-aminium hydroxide
- tetra-n-propylammonium hydroxide
- Tetrapropyl ammonium hydroxide