텍사스주 오스틴 2012년 8월 6일 반도체 제조 시 TMAH(테트라메틸암모늄하이드록사이드)의 안전하고 환경 친화적인 처리는 모든 제조 공장 운영 단계에서 매우 중요합니다. SACHEM은 제조 공장 공정에서 회수한 TMAH을 재활용 및 재사용하는 시스템 개발에 선구자적 역할을 담당해 왔습니다. SACHEM의 기술 담당 최고 책임자(CTO)인 Craig Allen은 2012년, 10월 23~24일 미국 캘리포니아 산호세에서 개최된 SEMI Strategic Materials Conference에서 TMAH의 회수 및 재활용 옵션을 검토했습니다.

2012 SMC(Strategic Materials Conference)에서 첨단 전자 물질의 시너지, 동향 및 비즈니스 기회를 집중 조명했습니다.

SACHEM, Inc.의 기술 담당 최고 책임자(CTO)인 Craig Allen은 “프런트 엔드 에칭 제품군과 백 엔드 웨이퍼 씨닝 제품군으로 TMAH 사용을 확장하면 사진 석판술 공정에서 이미 생성된 많은 양의 현상액과 세제에 많은 양의 TMAH 폐기물이 추가로 생성될 수 있습니다. 그리고 점점 증가하는 폐기물 감소 요구로 화학적 효율성이 개선되었고, 더욱 엄격해진 폐기물 방출 제한으로 기존의 폐기물 처리 공정 및 모델도 개선해야 하는 문제에 봉착하게 되었습니다. 상업적 사업 경험에 기초해 당사는 TMAH의 재활용 및 회수 옵션에 대한 개요를 제공할 예정입니다.”라고 언급했습니다.

SACHEM은 텍사스주 오스틴에 본사를 두고 있는 화학 기업으로 완전 상용 운영 및 연구 시설은 북미, 유럽, 중국 및 일본에 위치해 있습니다. 당사 기술은 고순도를 중심으로 진화하여 전자 물질, 유전 화학, 촉매, 폴리머, 제약, 농화학, 바이오기술 및 에너지 물질 시장에 성공적으로 적용됩니다.