포토레지스트 현상액 | Envure DV™

포토레지스트 현상액 배합 성분

SACHEM은 20여년 동안 전자 분야에서 현상액 제조에 사용되는 전자 배합 성분을 공급해 온 선두 업체입니다. 대부분의 현상액은 TMAH(테트라메틸암모늄하이드록사이드) 및 TBAH(테트라부틸암모늄하이드록사이드)를사용하여 용해시키고 있습니다. SACHEM은 전자 업계에서 증가하는 성능, 안전 및 품질 표준을 충족할 수 있는 Envure DV™를 제공합니다.

Envure DV™ 성분은 형상의 크기가 작아지면서 라인 에지 러프니스 및 패턴 붕괴 같은 새로운 문제가 생기는 경우에 도움이 됩니다(아래 참고 문헌 참조).

  • Envure DV™ 322
  • Envure DV™ 324 
  • Envure DV™ 4551
  • Envure DV™ 520

Envure DV™ 322
현상액 포뮬러
TMAH(테트라메틸암모늄 하이드록사이드) 25% AQ
CAS# 75-59-2
[sachem_product:322A]

Envure DV™ 324
현상액 포뮬러
TMAH(테트라메틸암모늄 하이드록사이드) 24.9% AQ UP
CAS# 75-59-2
[sachem_product:324B]

Envure DV™ 4551
현상액 포뮬러
TBAH(테트라부틸암모늄 하이드록사이드) 10% AQ UP
CAS# 2052-49-5
[sachem_product:4551A]

Envure DV™ 520
현상액 포뮬러
TMAH(테트라메틸암모늄하이드록사이드) 20% AQ UP
CAS# 75-59-2
[sachem_product:520C]

SACHEM이 제공하는 지원 서비스는 다음과 같습니다.

참고 문헌

셀레트의 EUV 레지스트 물질 및 프로세스 발전 상황(Development Status of EUV Resist Materials and Processing at Selete) (Kentaro Matsunaga 외, 2011)

셀레트 R&D 프로그램은 반도체 장치 제조를 위한 극자외선(EUV) 리소그래피 프로세스의 실행 가능성을 평가합니다. 또한 이 팀은 hp-2x-nm 실험용 칩 평가를 위해 셀레트 표준 레지스트(SSR)를 사용하여 레지스트 프로세스를 평가했습니다. 현상 프로세스에 대한 평가에서는 테트라메틸암모늄하이드록사이드와 테트라부틸암모늄하이드록사이드 현상액 용제를 사용하여 SSR을 평가했습니다. TBAH 현상액 용제 및 대체 린스 용제를 조합하여 사용할 때 패턴 붕괴 방지 기능이 크게 향상된다는 사실이 입증되었습니다.

EUV 리소그래피를 사용한 hp-2x-nm 장치용 레지스트 물질 프로세스의 발전(Development of Resist Material and Process for hp-2x-nm Devices Using EUV Lithography) (Kentaro Matsunaga 외, Selete 2010)

극자외선(EUV) 리소그래피는 hp-22-nm 이상의 기술 노드에서 반도체 장치를 제조하기 위한 선구적 기술입니다. 셀레트 프로그램에는 EUV 리소그래피 프로세스를 위한 제조 평가도 포함됩니다. EUV1 전자계 노출 도구를 사용한 hp-2x-nm 테스트 칩 처리량 분석을 통해 나온 레지스트 성능은 아직 분해능 한계, 감도 및 라인 에지 러프니스에 대한 엄격한 요건을 만족하지 못하고 있습니다. 패턴 붕괴는 분해능을 hp 28nm로 제한합니다. 분해능을 개선하려면 패턴 붕괴 방지 프로세스를 최적화해야 합니다. hp-2x-nm 산출을 위한 셀레트 표준 레지스트 4(SSR4) 평가에서는 밀도가 더 낮은 레지스트와 현상액용 TBAH 용제를 사용함으로써 이러한 문제가 완화되는 것으로 확인되었습니다.

포토레지스트의 용해 작용: 현장 분석(Dissolution Behavior of Photoresists: An In-situ Analysis) (Toshiro Itani 및 Julius Joseph Santillan, Journal of Photopolymer Science and Technology Vol. 23, No. 5, 639-642 (2010))

노출 후 포토레지스트 용해 프로세스의 특성을 계속 관찰하면서 차세대 리소그래피의 요건을 충족시키는 최적의 포토레지스트 물질 및 프로세스 개발을 위한 단서를 찾았습니다. 이 논문에서 포토레지스트의 용해 작용에 대한 현장 분석은 고속 원자력 현미경을 사용하여 실시했습니다. 현상 프로세스 도중 및 전후에는 노출된 EUV 포토레지스트 필름 표면에서 물리적 변화가 실시간으로 관찰됩니다. 이 작업에서는 EUV 포토레지스트 플랫폼에서 TMAH 현상액들의 용해 특성을 비교했습니다. 또한 동일한 폴리머 레지스트를 사용하여 TMAH 현상액과 TBAH 현상액의 용해 특성 차이도 분석했습니다.

극자외선 리소그래피를 위한 대체 현상액의 등장(The Emergence of Alternative Developers for Extreme Ultraviolet Lithography) (Toshiro Itani 및 Julius Joseph Santillan, Applied Physics Express 3 (2010))

EUV 레지스트에 대한 최근의 연구에서는 처리된 대체 레지스트를 사용하는 것이 리소그래피 성능 목표를 달성하기 위한 해결책임이 입증되었습니다. 이 연구에서는 현재 사용되는 TMAH 현상액 용제의 대체 물질로서 TBAH가 어느 정도 가능성을 갖고 있는지 조사되었습니다. TBAH 현상액을 사용함으로써 리소그래피 성능이 크게 향상되었습니다.

극자외선 레지스트의 대체 현상액 용제(Alternative Developer Solutions for Extreme Ultraviolet Resist) (Toshiro Itani 및 Julius Joseph Santillan, 2009)

TPAH 및 TBAH 수성 현상액 용제는 TMAH 수성 현상액 용제의 대체 물질로 제안되었습니다(반도체 산업 표준). TMAH, TPAH 및 TBAH 현상액 용제를 사용한 EUV 레지스트의 용해 특성 비교 곡선을 보면 용해 특성이 유사하게 나타납니다. 이는 대체 현상액 용제를 사용하더라도 레지스트 분해능 한계와 감도에는 별다른 영향이 없음을 의미합니다. 이미징 성능 분석 결과를 보면 분해능과 감도에 미치는 영향이 무시할 만한 수준임을 알 수 있습니다. TBAH 및 표준 TMAH 현상액 용제를 사용하는 경우에는 LWR이 20% 개선된 것을 알 수 있습니다. 이러한 개선은 TBAH 현상액 용제를 사용할 때 용해 성능이 크게 향상된 결과로 인식되었습니다.

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