2014년 5월 22일, 목요일 SACHEM은 단일 단계 실리콘 에칭/TSV reveal 공정이 가능하도록 고안된 습식 화학인 Reveal Etch™의 출시를 발표할 예정입니다. SACHEM과 Solid State Equipment, LLC (SSEC)는 이 화학 공정을 개발했고, 단일 웨이퍼 가공업체에서 사용할 수 있도록 공정을 최적화했습니다.
SACHEM 직원인 Dr. Yongqiang Lu, Sian Collins, Dr. Kevin McLaughlin 및 Dr. Craig Allen과 SSEC 직원인 Laura B. Mauer, John Taddei 및 Ramey Youssef는 공동으로 광택/플라즈마 에칭 TSV reveal 공정의 대체 공정인 새 습식 공정에 관한 기술 문서를 발행했습니다.
SSEC와 SACHEM은 2013년 부터 이 새 화학 분야에서 협업하고 있습니다. 2014년 2월, 이 두 회사에서 기술 문서를 발행하여 5월 29일 목요일 오후 4시 45분에 그 결과물을 IEEE 전자 부품 및 기술 컨퍼런스(ECTC 2014)에서 발표했습니다.
SSEC는 SACHEM와의 협업을 통해 칼륨이 포함되어 있지 않고 잔류물이 전혀 없는 특허 수용성 화학물질을 개발하여 공정 화학을 최적화하기 위해 출발했습니다. 이 새 화학은 습식 처리 사용을 제한하는 많은 문제를 해결할 뿐 아니라 광범위한 KOH 잔류물 제거 단계를 없애므로써 많은 비용을 절감합니다.
SSEC의 마케팅 부사장인 Erwan Le Roy는 “SACHEM Reveal Etch 화학은 WaferEtch™라는 최신 SSEC 플랫폼에 당사의 TSV Revealer를 구성하는 핵심 구성 요소입니다. 2.5D/3D 응용 분야에 수 년간 R&D에 전념한 후에 당사는 개별적으로 CMP 장비를 사용하지 않고 정확한 엔드포인트 결정을 위한 단일 도구-실리콘 두께 계측으로 모든 핵심 구성 요소를 통합하고, 습식 에칭을 스핀-에칭 화학으로 통합하고, TSV 및 습식 세척을 균일하게 노출시키기 위해 최종 에칭을 Reveal 에칭 화학과 통합함으로써 가장 낮은 소유권 비용 장비를 제조할 수 있게 되었습니다.”라고 언급했습니다.
“SACHEM에서 개발한 reveal etch 화학은 당사의 포뮬러 핵심 기술, 실리콘 에칭에 대한 광범위한 지식 및 고순도 전문 지식을 결합했습니다. SACHEM, Inc. 의 글로벌 전자 마케팅 관리자인 Kevin McLaughlin은 “당사의 솔루션은 에칭 속도와 표면 거칠기을 최적화합니다. 당사는 SACHEM의 전문 지식과 SSEC의 전문 지식을 결합하여 TSV 공정을 가능하게 하는 데 많은 발전을 이루었습니다.”라고 말했습니다.
전자 부품 및 기술 컨퍼런스(ECTC)는 협력 및 기술 교환 환경에서 포장, 구성품, 마이크로일렉트로닉스 시스템 과학, 기술 및 교육에서 최고만을 선보이는 매우 특별한 국제적 행사입니다. ECTC는 IEEE의 구성품, 포장 및 제조 기술(CPMT) 협회에서 후원하고 있습니다.
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SACHEM 소개
SACHEM, Inc.은 세계적인 화학 기업으로서 일본, 미국, 네델란드(잘트봄멜) 및 중국에서 완전한 상업적 조업을 하고 있습니다. SACHEM은 60년 넘게 전자제품, 파인 세라믹, 바이오기술, 녹말 개량, 폴리머, 촉매, 제약 및 농약을 비롯한 주요 시장의 고객에게 화학물질 솔루션과 서비스를 제공하고 있습니다. 텍사스주 오스틴에 거점을 둔 SACHEM은 전세계로 시설을 확장하고 있으며 북미, 유럽 및 아시아의 제조 및 연구 시설을 비롯하여 30여 개국에 걸쳐 글로벌 서비스 네트워크를 두고 있습니다.
Solid State Equipment, LLC에 대한 정보
1965년에 미국 펜실베니아 호르샴에 본사를 두고 설립된 Solid State Equipment, LLC (DBA SSEC)는 반도체 산업에서 단일 웨이퍼 습식 처리 장비를 제조하는 제조업체입니다. Solid State Equipment는 미국 펜실베니아 호르샴, 캘리포니아 샌 조세, 독일 레겐스부르크, 영국 크램링턴; 타이완, 중국 상하이, 싱가포르 우드랜즈, 한국 경기도 및 필리핀 라구너에서 세계적인 판매 및 기술 서비스 사무실을 두고 있습니다.
새 화학에 관한 정보는 다음의 2013년 7월 23일 나온 SSEC의 보도 자료를 참조하십시오. “SSEC’s New Chemistry for TSV Reveal” http://www.3dincites.com/2013/07/semicon-west-3d-technology-updates-ssecs-new-chemistry-for-tsv-reveal/