반도체와 평면 패널 디스플레이 제조 시 TMAH(테트라메틸암모늄하이드록사이드)의 안전하고 환경 친화적인 처리는 모든 제조 공장 운영 단계에서 매우 중요합니다. SACHEM은 환경과 자원의 효율적인 사용을 위해 최선을 다하고 있습니다. SACHEM은 보유하고 있는 화학 전문 지식과 기술로 제조 공장 공정에서 회수한 TMAH을 재활용 및 재사용하는 혁신적인 재활용 기술을 개발했습니다.
프런트 엔드 에칭 제품군과 백 엔드 웨이퍼 씨닝 제품군으로 TMAH 사용을 확장하면 사진 석판술 공정에서 이미 생성된 많은 양의 현상액과 세제에 많은 양의 TMAH 폐기물이 추가로 생성될 수 있습니다. 그리고 점점 증가하는 폐기물 감소 요구로 화학적 효율성이 개선되었고, 더욱 엄격해진 폐기물 방출 제한으로 기존의 폐기물 처리 공정 및 모델도 개선해야 하는 문제에 봉착하게 되었습니다.
Mobius System®은 까다로운 제조 응용 분야에 지속 가능성 및 공정 경제성을 보장할 수 있도록 중요 원재료를 사용 및 재사용하는 기회를 고객과 파트너에게 제공합니다.
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