에틸트리메틸암모늄 하이드록사이드 | ETMAH

SACHEM의 에틸트리메틸암모늄 하이드록사이드(ETMAH)는 다양한 응용 분야에서 사용되는 고순도 제4급 암모늄 화합물입니다. SACHEM의 고객은 ETMAH가 직접 회로 제조 시장에서 사용 가능한 에칭 응용 분야용 포뮬러 성분이라는 사실을 확인하였습니다.
응용 분야
SACHEM의 Envure System™은 집적 회로(IC) 시장이 직면하고 있는 계속되는 당면 과제를 해결하기 위해 개발된 제품군인 Envure CL™을 보유하고 있습니다. ETMAH는 폴리실리콘 에칭 분야에서 수많은 주요 포뮬러의 토대가 되는 Envure SE™ 제품으로, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 탁월한 대체제입니다.
에틸트리메틸암모늄 하이드록사이드(ETMAH)가 에칭 응용 분야에 널리 사용되는 이유는 다음과 같습니다.
• TMAH와 유사한 성능: 피부 노출 시 더 높은 LD50 레벨
• IC 및 PV 응용 분야에서 온도 및 농도 조절 가능
• 바람직한 유기적 용해도 및 향상된 성능
• 금속 이온 및 할로겐화물 레벨이 낮아 전체적인 “오염 비용”이 적은 응용 분야에서 저순도 성분을 접목할 수 있는 가능성 제공
기타 응용 분야:
• 에너지 물질
• 폴리머 시장
• 농화학 시장
• 제약 시장
• 제올라이트 시장
사용 가능한 제품
에틸트리메틸암모늄 하이드록사이드, 20% 수용성 초순도
ETMAH 20% AQ UP
CAS# 30382-83-3
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