テキサス州オースチン 2012年8月6日 半導体製造における 水酸化テトラメチルアンモニウム (TMAH) の安全かつ環境的に責任ある取扱いは、全段階において非常に重要です。 SACHEM は、製造工程から回収される TMAH の真のリサイクルと再使用のシステムを他に先駆けて開発しました。 クレイグ・アレンは SACHEM の最高技術責任者ですが、 10月23 – 24日にカリフォルニア州サンジョゼで開催される SEMI 戦略的材料会議 (SMC) では、彼が TMAH の回収とリサイクルに関する選択肢についてレビューを行います。

この2012年戦略的材料会議 (SMC) は、先進的な電子材料におけるシナジー、トレンド、ビジネスチャンスなどの探求に特化しています。

「フロントエンドにおけるエッチングやバックエンドでのウェーハシンニングでの TMAH の使用の拡大は、膨大な量の TMAH 廃棄物につながります。これらの廃棄物は、フォトリソグラフィー工程によってすでに膨大に生成されている現像液や洗浄液からの廃棄物に追加されることになるのです」と クレイグ・アレンは語っています。「同時に廃棄物の低減、化学的な効率の向上、排出制限の厳格化などへの要請があり、これが従来型の廃棄物処理の工程やモデルに挑戦する原動力となってきました。 私たちの商業規模の操業体験に基づき、TMAH のリサイクルと回収に関する概観を発表する予定です」。

本社がテキサス州オースティンにあるSACHEMは、北アメリカ、ヨーロッパ、中国および日本に、製造設備および研究施設を持つ化学品製造販売会社です。 当社のテクノロジーは高純度に関わるもので、エレクトロニクス材料、油田化学物質、触媒、ポリマー、医薬品、農薬、バイオテクノロジーおよびエネルギー材料といった市場で利用されています。