半導体とフラットパネルディスプレイの全ての製造段階においては、TMAHを安全にそして環境への責任を持って取り扱う事が非常に重要となってきます。 SACHEMは、環境への配慮および資源の有効利用に責任を持って取り組んでいます。 化学に対する専門知識と技術を組み合わせることで、SACHEM はMobius System®を創出しました。この技術は、製造工程から回収されるTMAHをリサイクルし、また再利用する革新的な技術です。
フロントエンドにおけるラインエッチングとパターニングでの TMAHの拡大使用は膨大な量のTMAH廃棄物につながります。これらの廃棄物は、フォトリソグラフィ工程から出てきた現像と洗浄液からの大量な廃液にさらにまた追加されるのです。 同時に、廃棄物を低減したいという要望が化学物質の効率を高め、そして、排出物へのより厳しい規制が従来型の廃棄物処理の工程やモデルに一石を投じました。
Mobius System® は当社の顧客やパートナーに対して、重要な原材料の使用と再利用する機会を提供することで、厳しい要求が求められる生産用途においては、持続性と工程のコスト管理が確保されます。
Mobius System®をなぜ使うのでしょう？ それは、Mobius System®の漫画で答えがわかります。
