Mobius System ® 化学回收

半导体平面显示器制造过程中的四甲基氢氧化铵 (TMAH) 的安全和环保处理在生产线运作的所有阶段均至关重要。SACHEM 致力于关爱环境和有效利用资源。凭借我们专业的化学科学知识和技术,SACHEM 创造了能够真正回收和再利用从制造工艺中回收的四甲基氢氧化铵的创新型回收技术 — Mobius System®。

由于在线形蚀刻前端和线形芯片薄化后端中四甲基氢氧化铵的广泛使用,生成了大量四甲基氢氧化铵废物,这更增加了光刻过程中产生的显影剂和冲洗所生成的大量废物。与此同时,减少废物以改善化学效率的需求和更严格的排放限制对传统的废物处理过程和模式提出了挑战。

Mobius System® 为我们的客户和合作伙伴提供使用及重复使用关键原材料的机会,从而确保实现其所要求的制造应用的可持续性和工艺经济性。


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