水酸化エチルトリメチルアンモニウム | ETMAH

SACHEM の水酸化エチルトリメチルアンモニウム (ETMAH) は、さまざまなアプリケーションを持つ高純度の第4級アンモニウム化合物です。当社のクライアントは、集積回路製造市場で選択的エッチング用配合成分として ETMAH を使用しています。
用途
SACHEM の Envure System™ は、集積回路 (IC) 市場が直面する持続的な課題に対応するために開発された製品ラインです。ETMAH は、ポリシリコンエッチングでの多くの重要な配合においてその基盤を形成する Envure SE™ 製品であり、水酸化テトラメチルアンモニウムの優れた代替品です。
エッチング用途における水酸化エチルトリメチルアンモニウム (ETMAH) のメリット:
• TMAH と同等のパフォーマンス:皮膚曝露での高い LD50 レベル
• IC および PV 用途で温度や濃度を調整可能
• 良好な有機溶解度および強化された性能
• 低い金属イオンとハロゲン化物レベルにより、アプリケーションでの純度の低い成分と全体的な「汚染関連予算」を統合する柔軟性が生まれます。
他の用途:
• エネルギー材料
• ポリマー市場
• 農薬市場
• 医薬品市場
• ゼオライト市場
ご購入可能な製品
水酸化エチルトリメチルアンモニウム、20% (超高純度水溶液)
ETMAH 20% AQ UP
CAS# 30382-83-3
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