タイトル：ダメージフリー湿式化学腐食液によるバックチャネルエッチ (BCE) InGaZnO TFT の製作
Qualcomm MEMS Technologies Inc. は技術論文を SACHEM と共同で執筆し、日本での2014年国際ディスプレイワークショップで発表しました。
著者：Tze-Ching Fung、Cheonhong Kim、Tallis Chang、John Hong – Qualcomm MEMS Technologies Inc.
Paul Vermeulen、Paul Janseen、Yongqiang Lu、Sian Collins、Laura Robichaux – SACHEM, Inc.
概要：Qualcomm は、ほとんどダメージのない湿式化学腐食液 (SACHEM 自社開発の配合) による BCE IGZO TFT 処理を開発しました。TFT の特性と均質性が評価され、そのパフォーマンスが従来の ESL タイプの TFT に基づいて報告された値と比較されました。BCE TFT の低マスク数と小さなデバイスサイズを考えると、この処理は、大量製造環境にとって非常に魅力的なものとなっています。
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